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国林科技:公司电子级超纯臭氧气体发生器可产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧

作者:小编 时间:2024-06-26 05:45:40 点击:

  龙8体育官网国林科技(300786.SZ)5月30日在投资者互动平台表示,公司电子级超纯臭氧气体发生器可产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧,臭氧在电子工业领域可被广泛用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光 刻胶去除和多种清洁应用。

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